.
- Hiji / Dua Panto
Pigura jeung chamber dijieunna tina karbon stainless steel.
Unggal panto nyadiakeun jandela inspeksi pikeun kontrol visual prosés.Tembok panto nyadiakeun liner stainless steel nu gampang dipiceun pikeun pangropéa.
-Kamar vakum ngaropéa
chamber nyadiakeun liners stainless steel jero gampang ngaleupaskeun pikeun beberesih.
Pompa nangtung dina bagian tukang.
chamber ngabogaan runtuyan flange leutik keur kaperluan ngukur.
-Sistim ngompa vakum High
Pompa difusi + pompa booster + pompa mékanis
- Pangukuran sareng kontrol vakum
Kalayan logam Pirani gauge + logam Ionisasi gauge
-Fixtures sistem pindah
- Unit Kontrol PLC
Sistim évaporasi -Aluminium kalawan trafo kakuatan tinggi
-Pigura beusi
Strukturna wajar
Lapisan pilem téh seragam
Kualitas ngabentuk pilem
Laju pompa anu luhur, siklus kerja anu pondok sareng efisiensi produksi anu luhur
Operasi anu merenah
Konsumsi énergi anu rendah sareng kinerja anu stabil
Nomer modél | EV-1000 | EV-1200 | EV-1400 | EV-1800 | EV-2000 | Dua panto atanapi Dua kamar modél sayogi | |
Dimensi chamber vakum (diaméter * jangkungna) | 1000*1100 | 1200*1400 | 1400*1600 | 1800*2000 | 2000*2200 | ||
Bahan tina chamber vakum | Baja karbon, SUS304 atanapi SUS316L | ||||||
Téhnologi gawé | évaporasi lalawanan vakum kalawan tungsten & aluminium filaments, kakuatan tinggi évaporasi trafo | ||||||
Sistim ngompa | Pompa difusi + pompa mékanis, pompa booster | ||||||
Waktu ngompa | Ti atmosfir ka 5,0 * 10-2Pa kirang ti 8 menit | ||||||
Wates vakum | 5,0 * 10-4 Pa | ||||||
Suhu gawé | Suhu kamar | ||||||
Modeu gawé | Modeu Otomatis atanapi Manual, ku 10,4 inci PLC némpél layar | ||||||
Total Daya | 40-80kW | 70-140kW | |||||
tapak suku | 2*2 méter | 2*3 méter | 3*3 méter | 3*3 méter | 3*4 méter | 4*5 méter | 5*6 méter |
Unit ieu anjeun tiasa didamel khusus | 1. Ukuran chamber vakum 2. Konfigurasi tina pompa | ||||||
instrumen pilihan | 1. detektor bocor 3. Sistim déposisi ion busur 4. Sistim sputtering Magntron |